大多數(shù)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)關(guān)于高效過濾器泄漏率的接受標(biāo)準(zhǔn)是，可接受的泄漏限度最終由客戶和供應(yīng)商共同確定。但是，對(duì)于使用HEPA過濾器或不同級(jí)別潔凈區(qū)的許多應(yīng)用，大多數(shù)采用≤0.01％的掃描測(cè)試泄漏標(biāo)準(zhǔn)。盡管0.01％的泄漏率在歷史上已經(jīng)使用過，并且其起源與早期的模擬光度計(jì)測(cè)試設(shè)備相關(guān)聯(lián)，但在沒有進(jìn)行科學(xué)和基于風(fēng)險(xiǎn)的評(píng)估的情況下，將0.01％的泄漏率標(biāo)準(zhǔn)作為可接受標(biāo)準(zhǔn)將導(dǎo)致與泄漏測(cè)試有關(guān)的問題，并且如果在低風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域發(fā)現(xiàn)超限或失敗情況，將可能會(huì)帶來巨大的運(yùn)營成本。過濾器不是100％截留的，并且預(yù)計(jì)MPPS附近的粒子在過濾器局部或整體可以穿透。當(dāng)使用較低級(jí)別的HEPA過濾器時(shí)，工廠進(jìn)行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率標(biāo)準(zhǔn)可能等于或大于現(xiàn)場(chǎng)泄漏率測(cè)試的接受標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)試接受標(biāo)準(zhǔn)會(huì)變得更具爭(zhēng)議和困難。在可能發(fā)生泄漏的地方尤其如此。因此，在購買過濾器時(shí)，考慮過濾器的等級(jí)以及安裝后如何進(jìn)行測(cè)試非常重要，以避免不必要的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試失敗。

ISO 14644-3 [33]提供了有關(guān)如何實(shí)施泄漏替代標(biāo)準(zhǔn)的指南。 在基于風(fēng)險(xiǎn)的方法中，理想的接受標(biāo)準(zhǔn)是，該接受標(biāo)準(zhǔn)可以反映所使用過濾器的效率或所測(cè)試房間的潔凈度。 ISO 14644-3使用工廠過濾效率等級(jí)作為接受標(biāo)準(zhǔn)協(xié)商的基礎(chǔ)。光度計(jì)泄漏測(cè)試和基于粒子計(jì)數(shù)器的泄漏測(cè)試的泄漏接受標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)該相同，因?yàn)閮煞N方法背后的理論和方法是相同的。如果執(zhí)行得當(dāng)，使用光度計(jì)和粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行的泄漏測(cè)試將得到相同的泄漏率結(jié)果（Meek等，2011 [121]）。

如果檢測(cè)到的泄漏量超過上游濃度的0.01％，一般認(rèn)為該泄漏率超過最大允許標(biāo)準(zhǔn)。但是，對(duì)于整體效率MPPS≥99.95％且小于99,995％的過濾器系統(tǒng)（如H13過濾器），接受標(biāo)準(zhǔn)為0.1％。

如果要測(cè)試 MPPS 整體效率低于 99.95% 的過濾系統(tǒng)，則根據(jù)客戶和供應(yīng)商之間的協(xié)議，需要不一樣的接受標(biāo)準(zhǔn)。